ULVAC愛發科 羅茨型干泵真空泵

ULVAC愛發科 羅茨型干泵真空泵

 ULVAC集團成立于1952年。自創業以來，與液晶平板顯示器、半導體和電子元件以及汽車、食品和制藥等一般工業設備等廣泛行業的業務合作伙伴一起，通過挑戰利用真空技術創造創新，努力創造新的價值。在顯示器、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化工、食品、制藥等行業以及大學和研究機構的真空設備、周邊設備、真空元件和材料的開發、制造、銷售、客戶支持、進出口。此外，還是真空技術的研究主管和技術顧問。旨在通過相互合作和協作以及真空技術和周邊技術的綜合使用，為工業和科學的發展做出貢獻。

利用鋁材優異的熱傳導性能使排氣腔室整體高溫分布均勻。適用于半導體?電子設備和顯示器制造的

CVD或蝕刻等會產生升華性氣體的工藝  

高溫均勻分布：在CVD、蝕刻等工藝下使反應性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態排氣?？梢詼p少氣體固化量。

• 強耐腐蝕性：主要零件采用耐腐蝕性強的表面處理。減少腐蝕性氣體排氣時的腐蝕性

型號：

LR60  LR90  LR180  LR421  LR421-T  

LR300  LR600  LR1200  LR1800

LR3601  LR3601-T  LR3601-R  LR3601-TR

HR60  HR90  UR421-T  

HR300  HR600  UR600

HR1200  UR1200  UR1800  UR3601-TT