ULVAC愛發科 油旋片型真空泵

ULVAC愛發科 油旋片型真空泵

 ULVAC集團成立于1952年。自創業以來，與液晶平板顯示器、半導體和電子元件以及汽車、食品和制藥等一般工業設備等廣泛行業的業務合作伙伴一起，通過挑戰利用真空技術創造創新，努力創造新的價值。在顯示器、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化工、食品、制藥等行業以及大學和研究機構的真空設備、周邊設備、真空元件和材料的開發、制造、銷售、客戶支持、進出口。此外，還是真空技術的研究主管和技術顧問。旨在通過相互合作和協作以及真空技術和周邊技術的綜合使用，為工業和科學的發展做出貢獻。

主要用途

• 蒸鍍設備、濺射設備

• 真空熱處理爐

• 檢漏設備

• 大型腔體排氣

可選擇空冷或水冷：可根據環境選擇。使用了油冷卻器降油溫。

• 內置油霧分離器：油罐內置可拆卸式油霧分離器。

• 追加了低噪音式樣（泵轉速下降）「VS650B-WL」

型號：

GLD-137AA  GLD-137CC  GLD-202AA  GLD-202BB  GLD-280A

GHD-031A  GHD-101A  

GCD-051X  GCD-136X  GCD-201X

VD151  VD201  VD30C  VD40C  VD60C  VD90C  

VS1501  VS2401

VS650B-A  VS650B-W  VS750B-A  VS750B-W  VS650B-WL

PVD-180  PVD-360  

PKS-016  PKS-030  PKS-070B